XYXYZ72压电宏微复合平台-哈尔滨芯明天科技有限公司

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产品名称：XYXYZ72压电宏微复合平台

产品型号：

产品报价：

产品特点：XYXYZ72压电宏微复合平台，采用压电粘滑原理与压电微动技术相结合的方式,满足XY轴mm级大行程,并且实现Z轴nm级的高精度。

更新日期：2025-02-24

发邮件给我们：info@coremorrow.com

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XYXYZ72压电宏微复合平台的详细资料：

XYXYZ72压电宏微复合平台 产品特点

XY宏动毫米行程，适于镜头等位置横向调整

Z向微动微米行程，适于光学聚焦调整

Φ35mm中心通孔，适于透射光应用

技术参数

型号	XY72N81K13	XYZ72SN81K13	XYZ72KN81K13	单位
运动自由度	X Y	X Y Z	X Y Z
XY 宏动行程	±5	±5	±5	mm
Z 微调行程	-	8@150V	8@150V	μm
XY 最小位移增量	<30	<30	<30	nm
Z 分辨率	-	0.3	0.1	nm
Z 微调传感器	-	SGS	-
Z 线性度	-	0.25	-	%F.S.
Z 重复定位精度	-	0.25	-	%F.S.
Z 空载谐振频率	-	2.5	2.5	kHz
承载能力	1.5	正立：500	正立：500	g
承载能力	1.5	侧放：200	侧放：200	g
中心通孔	φ35	φ35	φ35	mm
重量	-	695	695	g
压电螺钉连接器	RJ11	RJ11	RJ11

XYXYZ72压电宏微复合平台

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