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    产品名称:P72系列压电物镜定位器

    产品型号:

    产品报价:

    产品特点:P72系列压电物镜定位器是专门为物镜聚焦显微而设计的,采用无回差柔性铰链并联导向机构设计,物镜补偿量较小,具有超高聚焦 稳定性,物镜定位器装入显微检测/测量或者观测装置可以带动物镜头聚焦提高精度,可与多种高分辨率的显微镜配合使用。

    更新日期:2025-02-24

    P72系列压电物镜定位器的详细资料:

     P72系列压电物镜定位器是专门为物镜聚焦显微而设计的,采用无回差柔性铰链并联导向机构设计,物镜补偿量较小,具有超高聚焦 稳定性,物镜定位器装入显微检测/测量或者观测装置可以带动物镜头聚焦提高精度,可与多种高分辨率的显微镜配合使用。

    特点:

    • 大行程110μm

    • 大承载0.2kg

    • 毫秒级响应时间

    • 闭环重复定位精度高 • 开环/闭环可选

    螺纹适配器便于安装

    P72物镜定位器与物镜之间通过适配器连接,将物镜快速锁定在 预期位置 。 多种螺纹 牙 可 选 , 如M27× 0. 75、 M 26× 0. 75、 M26×1/36"、M25×0.75、W0.8×1/36"等,也可定制,便于与显 微镜集成安装。

    典型应用

    • 三维成像 • 干涉/计量

    • 表面结构分析 • 共焦显微

    • 生物科技 • 半导体测试

    体积小巧、易于集成、高动态、直线性好

    P72压电物镜定位器体积小巧、结构紧凑,可实现 大行程110μm的位移。多种螺纹牙连接器可选,易于与其 他光学显微镜等集成。

    台体采用柔性铰链机构,无摩擦且具有*的分辨 率。由于其空载谐振频率可达350Hz,且可带载200g负载 作高速精密运动,在光学扫描、共焦显微等领域得到广泛 的应用。

    可选择闭环版本,实现超高的定位精度。

    频率负载曲线 推荐控制器

    E00/E01

    XE-709

    E53

    页码 157

    页码 166

    页码 171





    1路输出

    1路输出

    1路输出

    上位机通信、模拟、旋钮

    模拟、上位机通信

    模拟、上位机通信

    开环/闭环

    开环/闭环

    开环/闭环

    平均功率7W/35W

    平均功率15W

    平均功率10W


    P72系列压电物镜定位器技术参数:


    型号

    尾缀S-闭环 尾缀K-开环

    P72.Z100S P72.Z100K


    单位

    运动自由度

    Z


    标称行程范围(0~120V)

    80

    μm±20%

    大行程范围(-20~150V)

    110

    μm±20%

    传感器类型

    SGS/-


    闭/开环分辨率

    5/2.5

    nm

    闭环线性度

    0.1/-

    %F.S.

    闭环重复定位精度

    0.05/-

    %F.S.

    推/拉力

    110/15

    N

    运动方向刚度

    1.4

    N/μm±20%

    空载谐振频率

    350

    Hz±20%

    闭/开环空载阶跃时间

    10/3

    ms±20%


    闭环空载工作频率

    10%行程

    50


    Hz±20%

    行程

    15

    大承载

    0.2

    kg

    静电容量

    3.6

    μF±20%

    材质


    重量

    150

    g±5%


    以上参数是采用E00系列压电控制器测得。


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