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    产品名称：P63.XY18S P63.XY18K 压电纳米定位台

    产品型号：

    产品报价：

    产品特点：P63.XY18S P63.XY18K 压电纳米定位台 产品特点： XY 轴行程 18μm/ 轴；开 / 闭环可??；承载可达 0.5kg；真空版本可??；

    更新日期：2025-02-24

    发邮件给我们：info@coremorrow.com

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    P63.XY18S P63.XY18K 压电纳米定位台的详细资料：

    P63.XY18S P63.XY18K 压电纳米定位台 产品特点

     XY 轴行程 18μm/ 轴

     开 / 闭环可选

     承载可达 0.5kg

     真空版本可选

    技术参数：

    型号

    S-闭环

    K-开环

    P63.XY18S

    P63.XY18K

    单位

    运动自由度

    X、Y

    X、Y


    驱动控制

    2路驱动，2路传感

    2路驱动


    标称行程范围（0 ~+120 V）

    16/轴

    16/轴

    μm±10%

    Max.行程范围（0~+150 V）

    18/轴

    18/轴

    μm±10%

    传感器类型

    SGS

    -


    闭/开环分辨率

    0.6

    0.2

    nm

    闭环线性度

    0.3

    -

    %F.S.

    闭环重复定位精度

    0.25

    -

    %F.S.

    俯仰/偏航/滚动

    ≤15

    ≤15

    μrad

    空载谐振频率

    2

    2

    KHz±20%

    闭/开环空载阶跃时间

    8

    0.5

    ms±20%

    承载能力

    0.5

    0.5

    kg

    静电容量

    1.8

    1.8

    μF±20%

    工作温度范围

    -20~80

    -20~80

    °C

    材质

    铝

    铝


    出线长

    1.5

    1.5

    m±10mm

    P63.XY18S P63.XY18K 压电纳米定位台 尺寸图

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