P51系列三维θxθyZ向压电偏摆台价格压电偏摆/旋转台系列是通过压电陶瓷驱动进行精密角度调整，内部采用无回差柔性铰链并联结构设计，产品较高的偏转精度和高的稳定性且响应速度快，是激光光束扫描以及激光合束等光路调整的理想选择。

P51系列是中心通孔三维θxθyZ轴压电偏摆台，采用无摩擦柔性铰链结构设计，响应速度快、闭环定位精度高，80×80mm中心大通孔方便集成于显微及扫描等光学系统中。

P51系列三维θxθyZ向压电偏摆台价格

 特性  

      • ±1.1mrad/轴的θx, θy偏摆运动及Z向100μm直线运动                 • 闭环定位精度高                    • 80×80mm大通光孔                    • 分辨率高                 • 外形超薄                    • 响应速度快

 驱动方式  

P51压电偏转台θxθy两轴采用90^。相差输入，并配合Z轴升降运动，再通过控制电压的大小，对于固定的光路距离，可进行一定范围的锥形范围扫描，如下右图所示。