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    产品名称:超低温真空无磁压电扫描台

    产品型号:XD106.XYZ60K

    产品报价:

    产品特点:超低温真空无磁压电扫描台,是一款三维运动压电平台,它是专为超低温、真空及无磁环境应用而设计

    更新日期:2025-02-24

    XD106.XYZ60K超低温真空无磁压电扫描台的详细资料:

    超低温真空无磁压电扫描台

    由芯明天研发生产的XD106.XYZ60K压电扫描台是一款三维运动压电平台,它是专为超低温、真空及无磁环境应用而设计,可进行XYZ三维扫描运动,采用低温压电驱动,耐低温可达4K,它的体积小巧,尺寸仅39mm×39mm×35mm,中心通孔φ10mm,非常易于集成,外壳采用轻型耐低温、无磁材料,采用低温双绞线,以适应低温环境下的使用。


    超低温真空无磁压电扫描台产品特点

    · 低温真空无磁,耐低温可达4K

    · XYZ三维运动

    · 4K温度下位移达30μm/轴

    · 分辨率可达2nm

    · 开环运动控制

    · 响应速度快


    产品应用

    · 半导体加工


    · 半导体检测

    · 高精密测试和操作

    · 其他真空无磁要求的纳米运动控制等


    技术参数


    型号
    XD106.XYZ60K
    运动自由度
    X、Y、Z
    驱动电压
    0~60V@常温
    0~150V@低温4K
    标称行程范围(常温)
    70μm/轴
    @0~60V,常温
    标称行程范围(低温)
    30μm/轴
    @0~150V,4K温度
    中心通孔直径
    10mm
    分辨率
    2nm
    空载谐振频率
    X415/Y465/Z497Hz
    带载200g谐振频率
    XY105/Z229Hz
    静电容量
    XY5.4μF,Z10.9μF
    材质
    承载能力
    200g
    重量
    220g
    使用方向
    倒置使用
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