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    产品名称:N31系列三维压电马达

    产品型号:

    产品报价:

    产品特点:N31系列三维压电马达,可在XYZ三个方向运动,配备有增量式编码器进行闭环控制。内部采用PZT压电式驱动,每轴运动行程可选25、50、100mm,可达纳米级分辨率。

    更新日期:2025-02-24

    N31系列三维压电马达的详细资料:

    N31系列三维压电马达

    三维闭环压电马达可在XYZ三个方向运动,配备有增量式编码器进行闭环控制。内部采用PZT压电式驱动,每轴运动行程可选25、50、100mm,可达纳米级分辨率。

    产品特点

     行程25、50、100mm/轴可选

     纳米级分辨率

     增量式编码器

     承载达2.5kg

    产品应用

     超分辨成像样品移动

     微纳装备及制造

     扫描电镜(SEM)样品操纵

     纳米聚焦与扫描

     主动光学

     集成电路制造与检测

     显微及纳米CT

     大范围电子束直写(EBL)

     高真空样品精度对准及调姿


    N31系列三维压电马达


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