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    首页 > 产品中心 > > 测微仪系列 > 小体积超精密电容测微仪

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    产品名称：小体积超精密电容测微仪

    产品型号：

    产品报价：

    产品特点：小体积超精密电容测微仪是具有微米或毫米级测量范围、纳米级测量精度的仪器，主要用于高精度长度（深度、高度、厚度、直径、锥度）测量、振动测量、微位移检测等，在航天、航空、汽车、机床、光学器件加工、半导体及其它工业测控等领域广泛应用。

    更新日期：2025-02-24

    发邮件给我们：info@coremorrow.com

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    小体积超精密电容测微仪的详细资料：

    小体积超精密电容测微仪

    高精度测微仪是具有微米或毫米级测量范围、纳米级测量精度的仪器，分为电感式、电容式、激光式。主要用于高精度长度（深度、高度、厚度、直径、锥度）测量、振动测量、微位移检测等，在航天、航空、汽车、机床、光学器件加工、半导体及其它工业测控等领域广泛应用。


    本次为大家带来一款芯明天小体积超精密电容式传感器。它由两部分组成，分别为电容探头及控制盒。电容探头为非接触式，尺寸为Φ10mm×18.5mm，通过电容测头可以测量0~500μm范围内的微小位移，测量分辨率可达1.25nm?？刂坪谐叽缃鲇?05×26×66mm^3，单通道输出，体积设计非常小巧，易集成。整体外观如下图所示。

    图片

    产品特点

    测量范围 0~500 μm
    分辨率可达1.25nm
    非接触式测量
    体积小、易集成

    小体积超精密电容测微仪典型应用

    图片

    电容式传感器优势

    1.稳定性好。电容传感器的电容值通常与电极材料无关，这有利于选择具有低温系统的材料，并且由于它产生的热量很少，因此对稳定性的影响很小。
    2.结构简单。电容式传感器结构简单，易于确保高精度，并且可以做得很小，可以在特殊环境下测量，如高低温、强磁等恶劣环境。
    3.动态响应良好。由于极板之间的静电引力很小，其运动部分可以做得非常小和薄，因此固有频率很高，动态响应时间短，并且可以在几兆赫兹的频率下工作，特别适合动态测量。
    4.非接触式测量。使用非接触式测量时，可以减小工作表面粗糙度对测量的影响。

    系统组成

    芯明天电容测微仪由两部分组成，分别为电容测头/电容传感器、传感信号处理控制?？?。

    （1）电容测头/电容传感器

    图片

    芯明天该款电容测头（即电容传感器）是圆柱型，采用平行极板原理，当被测物与电容测头间的距离发生变化时，它可将这种距离变化转换为相应的容抗变化。
    图片

    原理图


    技术参数
    型号
    C01D10
    C02D10
    C05D10
    单位
    量程范围
    0~100
    0~200
    0~500
    μm
    静态分辨率
    1.25
    2.5
    5
    nm
    动态分辨率
    （1kHz）
    50
    100
    200
    nm
    线性度
    50
    100
    200
    nm
    重复度
    2.5
    5
    10
    nm
    传感器直径
    10
    mm
    被测表面
    最小直径
    10
    mm
    传感器线长
    1.5
    m
    固定方式
    径向装夹

    探头尺寸
    Φ10×18.5
    mm
    重量
    (含线及连接器)
    55
    g



    注：可定制1mm量程版本。



    （2）传感信号处理控制?？?/p>

    传感信号处理控制?？槭亲ㄎヅ湫久魈斓缛荽衅鞫蟹⑸杓?，主要功能是将电容传感器的位移信号转换为电信号。它具有小巧紧凑的外形，非常适用于实验室及工业等各种场合的应用。


    图片

    技术参数
    控制器型号
    E75.CapA1-H
    单位
    通道数
    1

    静态分辨率
    0.00125
    %F.S.
    动态分辨率
    0.05 (2kHz)
    %F.S.
    模拟信号输出速度
    2
    kHz
    绝对误差
    ±0.2
    %F.S.
    线性度
    0.05
    %F.S.
    重复精度
    0.0025
    %F.S.
    信号温度稳定性
    ＜0.005
    %FSO/℃
    长期稳定性
    ＜0.04
    %FSO/月
    带宽
    2
    KHz（-3dB）
    工作温度
    +10~+50
    ℃
    存储温度
    -10~+75
    ℃
    环境湿度
    <85
    %
    供电电压
    24VDC/±50mA
    V
    电压输出范围
    （模拟）
    0~10
    V
    传感器输出接口
    SMA

    尺寸（L×W×D）
    105×26×66
    mm
    重量
    0.18
    kg



    此外，芯明天具有?？榛牡缛荽衅餍藕糯砜刂颇？?- E09.CAP系列，它的测量通道数可在1至12通道间自由选择，同时也可根据需求定制更多的测量通道数。

    图片

    芯明天E09.CAP系列电容传感信号处理?？?/section>


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