蠕变特性

除了迟滞特性，影响压电陶瓷定位精度的另外一个特性则是蠕变特性。给压电陶瓷施加一个电压，压电陶瓷会立即随之伸长产生相应的位移，在随后很长的一段时间里压电陶瓷长度会继续产生微小的伸长形变，我们将后续微小的长度形变称之为蠕变，蠕变量可以通过以下公式计算。

压电陶瓷的蠕变系数大概为1%-2% 。

蠕变量取决于压电陶瓷总体的位移、蠕变系数、外部的负载、时间等。蠕变也可以理解为取决于时间的对数。

静态或准静态操作下的蠕变 我们通过实验对芯明天PSt150/5X5/60 进行测试，得到蠕变曲线图如下：

PSt150/5X5/60蠕变特性图

 在这个实验中，蠕变系数,值取决于压电材料、结构以及环境条件（例如负载力）。在10s时的蠕变量为1.2μm，100s时的蠕变量为1.8μm。当位移（电压）停止几秒钟之后，蠕变实际上也跟着停止。

动态操作下的蠕变

当采用周期信号驱动压电陶瓷的时候，蠕变特性不会破坏压电陶瓷峰峰值的重复定位精度，这是因为蠕变特性有很强的时间决定性，蠕变量在每个正弦周期几乎相同。

下图为芯明天封装压电陶瓷PSt150/5/20 VS10 ，模拟式压电陶瓷控制器对压电陶瓷进行驱动，正弦信号满幅值位移为20μm，峰峰值的重复定位精度优于20nm，大概为满幅值的0.1%。

我们可以得出在动态操作情况下，即使不采用闭环，压电陶瓷位移的峰峰值也可以实现很高的重复定位精度，此时的重复定位精度只取决于压电控制器的性能。我们推荐芯明天的E00/E01系列?？榛刂破?，分辨率可达0.2mV。

如果工作在静态或准静态的条件下，蠕变特性对定位精度会有一定的影响，这时我们可以采用闭环版本的压电陶瓷及控制器，即压电促动器内置高精度传感器，可以实时检测位置信号并反馈给压电控制器，压电控制器通过PID算法对电压进行实时调整从而修正位移，实现满幅值0.05%的重复定位精度。

芯明天闭环压电控制器主要包括：E00/E01系列、E70系列、E52/E53系列、E72/E73系列、XE-650系列、XE-708/XE-709系列，除了标准化产品，我们还提供压电控制器定制服务。