芯明天直驱机构式压电纳米定位台 XP-63X压电纳米定位台为压电陶瓷直驱X轴运动定位台，内置高可靠性压电陶瓷，采用无摩擦柔性铰链导向机构，具有刚度大、分辨率高、响应速度快等特点，可以通过自由组合的方式组成二维XY、三维XYZ纳米定位台。《查看更多》

XP-62X系列压电纳米定位台是采用封装型压电促动器直接驱动，具有大承载、响应速度快、可靠性高和使用寿命长等优点。内置高分辨率SGS传感器进行全闭环运动控制，高谐振频率和大拉力使得该系列纳米定位台适用于精密加工等领域。《查看更多》

P63芯明天压电纳米定位台直驱机构式 为小体积1~3维压电定位台，平台内部采用无摩擦、无空回的柔性铰链导向机构，采用有限元仿真分析优化，柔性导向系统具有超高的导向精度，具有高刚性、高负载、无摩擦、免维护等特点。压电定位台具有良好的控制精度，分辨率和稳定性可以达到纳米量级，定位稳定时间仅为毫秒量级，压电定位台为无磁材质，使用过程中不受磁场的影响，压电平台体积小、结构紧凑易于集成。《查看更多》

芯明天直驱机构式压电纳米定位台位移行程可达100μm，该型号产品体积小巧，结构紧凑，压电驱动、无摩擦、柔性导向系统，实现纳米级分辨率和毫秒的响应时间。《查看更多》