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    芯明天放大机构式压电纳米定位台 一维压电纳米定位台是以压电陶瓷做为基础元件驱动的压电平移台,X 轴,XY 轴,XYZ 轴多维压电平移台,驱动形式包含压电陶瓷直驱式以及机机构放大式两种驱动形式。相同驱动电压下,机构放大平台的位移是直驱平台位移的几倍至几十倍《查看更多》
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