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    新品推荐|XD106.XYZ60K超低温真空无磁压电扫描台

    更新时间: 2023-08-16

    随着科学技术的深入研究,在低温真空强磁的环境下提供纳米级精密定位的应用在物理学、化学和材料学等领域应用越来越多,而低温真空无磁压电运动平台是一种高精度精密定位设备,主要特点是高精度、高稳定性和高可靠性,可在低温、真空及磁场等情况下提供精密定位,在半导体加工、检测等方面广泛应用。



    XD106.XYZ60K

    图片
    由芯明天研发生产的XD106.XYZ60K压电扫描台是一款三维运动压电平台,它是专为超低温、真空及无磁环境应用而设计,可进行XYZ三维扫描运动,采用低温压电驱动,耐低温可达4K,它的体积小巧,尺寸仅39mm×39mm×35mm,中心通孔φ10mm,非常易于集成,外壳采用轻型耐低温、无磁材料,采用低温双绞线,以适应低温环境下的使用。




    产品特点



    · 低温真空无磁,耐低温可达4K

    · XYZ三维运动

    · 4K温度下位移达30μm/轴

    · 分辨率可达2nm

    · 开环运动控制

    · 响应速度快




    产品应用



    · 半导体加工

    · 半导体检测

    · 高精密测试和操作

    · 其他真空无磁要求的纳米运动控制等



    技术参数



    型号
    XD106.XYZ60K
    运动自由度
    X、Y、Z
    驱动电压
    0~60V@常温
    0~150V@低温4K
    标称行程范围(常温)
    70μm/轴
    @0~60V,常温
    标称行程范围(低温)
    30μm/轴
    @0~150V,4K温度
    中心通孔直径
    10mm
    分辨率
    2nm
    空载谐振频率
    X415/Y465/Z497Hz
    带载200g谐振频率
    XY105/Z229Hz
    静电容量
    XY5.4μF,Z10.9μF
    材质
    承载能力
    200g
    重量
    220g
    使用方向
    倒置使用


    推荐控制器



    芯明天设计生产多款压电控制器,如??榛?、小体积型、大功率、工业式、集成式等。可根据不同应用场景选择合适的压电控制器。



    E00/E01系列压电控制器

    图片
    E00/E01系列压电控制器是??榛窖沟缈刂破?,??榛?,可自由选择伺服???、上位机通信???。驱动XD106.XYZ60K三维压电扫描台,选用E01.A3或E01.C3都可,后者增加了上位机通信功能。




    E70.C3系列压电控制器



    图片
    E70系列压电控制器是一款集成式压电控制器,它的外形尺寸紧凑很多,具有三个输出通道,可进行上位机通信控制和模拟控制,非常适于驱动XD106.XYZ60K三维压电扫描台。


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