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    P60.Z1000系列一维压电纳米定位台，行程可达毫米！

    更新时间： 2024-11-04
    P60.Z1000系列压电纳米定位台是一款具有大行程特点的一维Z向运动压电平台。它的内部采用高可靠性压电陶瓷驱动，配合无摩擦柔性铰链机构，利用机构放大的驱动形式，实现大行程精密定位运动，行程可高达1mm。它的负载可达1.5kg，在行程大的同时兼具了大负载的特点。该产品可选配高精度传感器进行闭环精密定位控制?？晒惴河τ糜诠庋?、半导体、航空航天、生物医疗等领域。产品外观如下图所示。



    图片

    产品特点

    Z向位移1000μm
    承载1.5kg
    毫秒级响应时间
    闭环重复定位精度高
    可选闭环传感器
    真空版本可选

    产品应用

    光学测量
    光学检测
    显微扫描
    激光干涉
    生物科技
    纳米操控技术
    纳米光刻
    纳米测量

    技术参数


    型号
    P60.Z1000S/K-C
    运动方向
    Z
    驱动控制
    1路传感/1路驱动
    标称行程范围（0~120V）
    800µm
    Max.行程范围（0~150V）
    1000µm
    传感器类型
    SGS/-
    分辨率
    35nm/10nm
    闭环重复定位精度
    0.1%F.S./-
    空载谐振频率
    80Hz
    承载能力
    水平安装
    1.5kg
    立式安装
    0.02kg
    倒置安装
    0.05kg
    静电容量
    72μF
    材质
    钛、铝
    重量
    ＜1.3kg



    配套控制器

    E53.D系列压电控制器非常适用于驱动P60.Z1000系列压电纳米定位台。E53.D系列是针对小体积应用要求而设计的单通道控制器，体积小巧，外形尺寸仅为148×27.5×80mm^3，重量为350g，供电电压24VDC/1A?；泶猩⑷惹?，可迅速导出产生的热量，上位机软件支持二次开发，体积小巧，易于集成。

    图片



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