S23.ZT0S/K25小体积三维压电偏转镜
S23.ZT0S/K25系列压电偏转镜是一款小体积三维压电偏转镜，可进行θx、θy两轴偏转和Z向升降运动，偏转角度可达±0.5mrad/轴 ，直线位移可达20.5μm，能够满足多种角度对光路调节的需求?？赵匦痴衿德士纱?.2kHz，可以在短的时间内完成快速响应，实现高频次的光路调整。闭环偏摆分辨率可达0.03μrad，直线可达1nm，能够精准把控极其微小的角度变化，确保光路调节的超高精准度。小体积的紧凑结构设计，能够更轻松集成到各种对空间要求严苛的光学系统中，无论是小型化的科研仪器，还是对设备尺寸有严格限制的工业应用场景，都能高度契合，为系统集成化设计提供了极大的灵活性。
产品特点
θx、θy偏转，Z轴升降
偏摆位移可达±0.5mrad/轴
直线位移可达20.5μm
空载谐振频率可达4.2kHz
中心通孔φ25.4mm
典型应用
航空航天——卫星激光通信
在卫星光通信中，由于大气中的环境因素（如折射、散射、大气湍流等）和激光束自身光束窄、发散角度小等问题，使得激光光束在瞄准过程中容易偏离目标，导致通信状况差。压电偏摆镜由于精度高、响应速度快的特点可以很好的校正误差。
精密加工——激光加工
在微米级小孔的超快激光加工应用中，对精度的要求非常高，压电偏转镜由于其精度高、响应速度快等特点，集成在激光加工系统中，可以将加工精度低、孔径不圆滑等问题解决。
显微成像——超分辨显微成像
在光学显微镜应用中，压电偏转镜可以在系统内带动镜片偏转，进行光路转向调整，用于获取更清晰、均匀且对比度更高的图像，大幅提高显微镜的分辨率和精度，从而实现更加精准的样品观察和分析。
| 型号 | S23.ZT0S/K25 |
| 运动自由度 | θx、θy、Z |
| 驱动控制 | 3路驱动，3路传感/3路驱动 |
| 标称直线行程范围 （0~120V） | 16.5μm |
| Max.直线行程范围 （0~150V） | 20.5μm |
| 标称偏摆角度（0~120V） | ±0.4mrad/轴（≈±82秒） |
| Max.偏摆角度（0~150V） | ±0.5mrad/轴（≈±103秒） |
| 传感器类型 | SGS/- |
| 通孔 | 25.4mm |
| 直线分辨率 | 1nm/0.5nm |
| 偏摆分辨率 | 0.03μrad（<0.01 秒） /0.01μrad（<0.01 秒） |
| 闭环重复定位精度 | θx0.03%F.S. /θy0.06%F.S. |
| 空载谐振频率 | 4.2kHz |
| 带载谐振频率@50g | θxθy3.7kHz/Z2.3kHz |
| 承载能力 | 50g |
| 静电容量 | 2μF/轴 |
| 阶跃时间 | 10ms@50g，满幅值 |
| 材质 | 钢 |
| 出线长 | 1.5m |
| 重量 | 250g |
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