E09 PZT传感控制?？?/div>
E09系列PZT传感控制?？槭歉骼郟ZT或微 动工作台等纳米定位机构中的传感器提供高、 高稳定性和高可靠性的激励信号，并检测和处理 PZT或微动工作台等纳米定位机构中的传感器信 号，并将该传感器信号通过内部的算法电路完成伺 服控制。E09PZT传感控制?？椴皇且桓龆懒⒌纳?备，需集成在E00/E01机箱内工作。
工作原理
压电陶瓷类变形镜对高压驱动电源的要求除了双极性高压输出和高的动态性能外，还要求驱动电源具有稳定性高、线性度好、纹波小等特点。通常驱动电源采用直流放大式的原理结构，它主要由误差放大级、高压功率放大级、电压负反馈网络和高压直流电源等组成。误差放大级放大输入低压控制信号与电压反馈信号的差值形成负反馈，稳定驱动电源闭环时的电压增益；高压功率放大级实现电压和电流的放大，满足变形镜驱动对电压和电流的要求；高压直流电源为高压功率放大级提供所需的高压直流电压。
压电陶瓷是可以将电能转换成位移或出力的功能性材料且越来越广泛的被精密定位，半导体加工，显微成像等各个领域所应用。
选择压电陶瓷驱动电源的理由有哪些？
· 大出力
· 高机械负载能力
· 高刚度
· 高动态性
· 真空环境兼容
· 高分辨率
