芯明天放大机构式压电位移台

P79系列Z向样品升降压电扫描台为一维Z轴微动平台，它的移动范围可达210µm，定位分辨率可达3nm。

 芯明天放大机构式压电位移台P79平台可对样品进行Z轴快速精密的聚焦调节，阶跃时间达毫秒量级。主要用于配套宏动XY轴运动扫描平台或压电马达平台使用，在宏动平台进行样品位置的粗调后，再通过P79压电扫描台进行样品位置的精确调整，定位精度达纳米量级。

两款规格型号、开环/闭环可选

P79系列Z向扫描台具有两种Z向行程范围可供选择，分别为110μm及210μm，可根据精确调整的运动范围进行选择。

另外，P79系统可提供开环及闭环版本?？钒姹径ㄎ凰俣雀?，且分辨率更高；对于有定位精度及稳定性需求的应用，可以选择配置SGS闭环传感器，装配在平台的位置，提供高分辨率、快速响应的传感电压信号给压电控制器。全桥设计避免了温度的漂移，确保了定位精度。

特性

• 一维Z向运动，zui大行程210μm            • zui大承载2kg          • 通孔尺寸：128.5×86.5mm                  

• 开环、闭环可选                                 • 闭环重复定位精度高

应用

       • 荧光显微  • 共焦显微  • 精密定位/样品检测  •光学捕获  • 扫描显微  • 干涉/计量  • 自动聚焦系统  • 表面检测/3D成像  • 光学计量  • 光学显微成像 • SPM扫描显微镜  • 掩模/晶圆定位  • 生物科技