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    产品名称：芯明天放大机构式压电扫描台

    产品型号：P12

    产品报价：

    产品特点：芯明天放大机构式压电扫描台 P12压电扫描台为压电陶瓷驱动、1~3维并联式平移扫描台，台体中心圆形通孔孔径可选25mm或35mm，满足显微等应用。压 电扫描台可以实现单轴320μm的位移行程，一体式结构使得多维运动无耦合、多种规格型号可选，以满足不同应用的需求。

    更新日期：2025-02-23

    发邮件给我们：info@coremorrow.com

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    P12芯明天放大机构式压电扫描台的详细资料：

       芯明天放大机构式压电扫描台 P12压电扫描台为压电陶瓷驱动、1~3维并联式平移扫描台，台体中心圆形通孔孔径可选25mm或35mm，满足显微等应用。压 电扫描台可以实现单轴320μm的位移行程，一体式结构使得多维运动无耦合、多种规格型号可选，以满足不同应用的需求。

    芯明天放大机构式压电扫描台P12压电扫描台特性

    • 大位移320μm

    • 大承载0.8kg

    • 台体中心通孔

    • 闭环重复定位精度高

    1~3维扫描台

       P12系列压电纳米定位台为1~3维直线压电扫描台，包 括X、Z、XY、XZ、XYZ等多种规格型号，通孔直径25mm 或35mm可选。

    小体积、大位移、中心通孔

       P12系列压电扫描台采用机构放大设计原理，超小的体 积外形，尺寸仅为60×60×24mm，可以实现大320μm 的扫描范围，中心通孔可选25mm或35mm，35mm通孔 对应台体外形尺寸为70×70×24mm。

       台体采用FEA有限元分析优化设计，具有零摩擦、超高 导向精度、纳米级分辨率等优点。

       P12系列压电扫描台内置高可靠性表面绝缘压电陶瓷， 确保了扫描台的可靠性与稳定性。

    P12.Z300闭环稳定时间图 

       P12系列压电扫描台具有优异的阶跃稳定性，下图为P12.Z300 大位移320&#956;m闭环稳定时间图。 

    P12压电扫描台典型应用

    • 扫描干涉 • 共焦显微

    • 晶圆定位 • 表面测量

    • 图像处理与稳定 • 光学捕获

    P12压电扫描台技术参数：

     

     

    型号

     

    尾缀S-闭环 尾缀K-开环

     

    P12.X100S P12.X100K

     

    P12.Z100S P12.Z100K

     

    P12.Z200S P12.Z200K

     

    P12.Z300S P12.Z300K

     

    P12.XY100S P12.XY100K

     

    P12.XYZ100S P12.XYZ100K

     

    单位

    运动自由度

    X

    Z

    Z

    Z

    X、Y

    X、Y、Z

     

    标称行程范围(0~120V)

    80

    80

    160

    240

    80/轴

    80/轴

    μm±20%

    大行程范围(-20~150V)

    110

    110

    210

    320

    110/轴

    110/轴

    μm±20%

    传感器类型

    SGS/-

    SGS/-

    SGS/-

    SGS/-

    SGS/-

    SGS/-

     

    通孔尺寸

    Ø25/Ø35

    Ø25/Ø35

    Ø25/Ø35

    Ø25/Ø35

    Ø25/Ø35

    Ø25/Ø35

    mm

    闭/开环分辨率

    7/4

    7/4

    7/4

    11/5

    7/4

    7/4

    nm

    闭环线性度

    0.05/-

    0.05/-

    0.1/-

    0.4/-

    0.05/-

    0.15/-

    %F.S.

    闭环重复定位精度

    0.01/-

    0.01/-

    0.03/-

    0.15/-

    0.03/-

    0.05/-

    %F.S.

    俯仰/偏航/滚动

    <10

    <10

    <15

    <15

    <10

    <15

    µrad

    推/拉力

    30/10

    30/10

    30/10

    30/10

    25/8

    20/4

    N

    运动方向刚度

    0.3

    0.3

    0.2

    0.1

    X0.25/Y0.3

    X0.3/Y0.25/Z0.2

    N/μm±20%

    空载谐振频率

    230

    220

    150

    100

    X180/Y230

    X230/Y180/Z150

    Hz±20%

    闭/开环空载阶跃时间

    10/0.8

    10/0.8

    15/1.6

    30/2.4

    15/0.8

    30/0.8

    ms±20%

     

    闭环空载 工作频率

    10%行程

    100

    100

    50

    30

    100

    50

     

    Hz±20%

    行程

    9

    10

    5

    3

    9

    5

    大承载

    0.8

    0.8

    0.5

    0.4

    0.7

    0.6

    kg

    静电容量

    1.8

    1.8

    3.6

    5.4

    1.8/轴

    1.8/轴

    μF±20%

    材质

    钢、铝

    钢、铝

    钢、铝

    钢、铝

    钢、铝

    钢、铝

     

    重量

    140

    140

    200

    260

    200

    260

    g±5%

    以上参数是采用E00系列压电控制器测得。

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