压电促动器的生产技术要求
一种压电促动器,其包括压电元件和保持该压电元件的保持构件,所述压电元件具有形成于压电陶瓷片表面上的一对电极,其中:
该压电陶瓷满足下面的要求(a)-(e)中的至少一种要求:
?。ǎ幔┒衙芏扔Ω玫扔诨蛐∮冢担纾悖?uarr;[3],根据共振-反共振方法计算的杨氏模量Y↓[11]↑[E]应该等于或大于90GPa;
?。ǎ猓┑既认凳Ω玫扔诨虼笥冢玻祝?uarr;[-1]K↑[-1];
?。ǎ悖┰冢常啊嬷粒保叮啊娴奈露确段?,热膨胀系数应该等于或大于3.0ppm/℃;
?。ǎ洌┰冢常啊嬷粒保叮啊娴奈露确段?,热电系数应该等于或小于400μCm↑[-2]K↑[-1];
?。ǎ澹┰冢常啊嬷粒福啊娴奈露确段?,根据共振-反共振方法计算的机械品质因数Qm应该等于或小于50。