压电移相器特性说明
产品特性
压电移相器用于扫描、光学对准及镜子移动装置对准
10mm中空
压电三脚设计
光束偏转可达2.4mrad
活塞运动可达12μm（移相器）
亚毫秒响应，亚微弧度分辨率
用于光学，镜片或其他部件
无摩擦，高精度弯曲导向系统
平行运动学扩展动态性及更好的多轴精度
压电移相器内部使用无摩擦及空回的柔性铰链导向机构，采用有限元仿真分析优化柔性铰链结构，柔性导向系统具有超高的导向精度，且具有高刚性、高负载、无磨损、免维护等特点，内置精密位移传感器进行全闭环的位置反馈，确保了压电移相器具有的运动控制精度，定位精度、分辨率和稳定性可以达到纳米量级，定位稳定时间仅为毫秒量级。专为高精度定位的光学系统应用而设计，超大的中空设计，方便应用于测量、干涉测量、白光干涉测量、纳米定位扫描仪。分立的螺纹转接器，可适配多种型号的物镜。扫描台为无磁材质，使用过程中不产生磁场同时也不受磁场的影响。
