三维XYZ向压电纳米定位台为小体积1~3维压电定位台，平台内部采用无摩擦、无空回的柔性铰链导向机构，采用有限元仿真分析优 化，柔性导向系统具有超高的导向精度，具有高刚性、高负载、无摩擦、免维护等特点。压电定位台具有好的控制精度，分辨率和稳定 性可以达到纳米量级，定位稳定时间仅为毫秒量级，压电定位台为无磁材质，使用过程中不受磁场的影响，压电平台体积小、结构紧凑易 于集成。

特性：

 1~3维自由组合

• 位移行程8μm • 大承载0.8kg • 重复定位精度可达纳米级

• 亚毫秒响应时间

1-3维平移台

    P63系列压电纳米定位台，包括X、Z、XY、XZ、 XYZ多种运动方式可选。超小体积易于集成配套。

典型应用

• 显微成像 • 纳米定位

• 生物技术 • 半导体技术

• 质量保证测试 • 微车削

• 原子力显微镜

小体积、高精度、响应速度快

   P63系列压电纳米定位台重要的特点是超级精密 且体积非常小巧，尺寸仅为30×24×42mm（X轴尺寸 为30×24×21mm），易于集成到任何扫描仪器中。

   P63系列纳米定位台是超高精密纳米定位系统，是 为AFM、SPM、STM等显微扫描纳米操作等应用而设 计的，具有超低惯性，响应时间可达0.3ms，可配置 高精度闭环传感器进行高分辨率高速扫描。

应用实例

   P63三维纳米定位台已经应用于基于SEM在线纳米切削平台切削 力测试实验中。

三维XYZ向压电纳米定位台技术参数：

以上参数是采用E00系列压电控制器测得。